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QRUI-1系列探針臺產(chǎn)品簡介：
QRUI-1系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發(fā)的基礎型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊 ，設計精密 ，價格實惠 ，在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到廣泛運用。配合對應的儀器儀表，可以用于測試各類器件的 IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內(nèi) ，配合特殊氣氛使用。一般適用于學校和工廠小型實驗室。
QRUI-1系列探針臺產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.探針臺與顯示器一體化設計 ，大大減小了設備的占地空間
2.具備自適應減震系統(tǒng) ，一定程度上可防止外界震動的干擾
3.U 型平臺鍍鎳設計，不僅增大了針座的加載空間 ，還提高了針座平臺和針座之間的吸附力
詳細參數(shù)：
產(chǎn)品型號
技術(shù)參數(shù) | QRUI-1-100 | QRUI-1-150 | QRUI-1-200 | QRUI-1-300 | |
探針臺 本體 | 電壓電流（可定制） | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | ||||
自適應減震系統(tǒng) | 具備自適應減震系統(tǒng) ， 一定程度上可防止外界震動的干擾 | ||||
卡盤大小 | 4 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | 6 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | 8 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | 12 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 ，精度 2um | 6 英寸*6 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | |
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片或者射頻器件) | ||||
背電極測試功能 | 具備 ，樣品臺電學獨立懸空 ，帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平 臺 | 材質(zhì) | U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4個探針座 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | 最多可放置12個探針座 | |
顯示系 統(tǒng) | 顯微鏡 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡 (注意視場) +CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 15X~200X/60X~420X | ||||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn) ，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機構(gòu) ，帶顯示器支架 | ||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500萬像素 ，幀率 60fps ，帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | |||
電力需求 | 220V/50HZ,10A | ||||
詳細配置方案可討論后給出
