全自動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件undefined，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入最終產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯，這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。
全自動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針頂端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針頂端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。
全自動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)儲(chǔ)存方法：
1.運(yùn)用完后需求留意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精細(xì)部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面凈化，招致儀器精度降低。
2.探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，防止直接潑水清算，以無塵布悄悄擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)作毛病或風(fēng)險(xiǎn)。
3.探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸*從兩頭向外悄悄的擦拭。*時(shí)易燃物，留意運(yùn)用平安。
4.停電或臨時(shí)不必、外出游覽時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。
5.操作人員必需嚴(yán)格按要說明書操作，以保證數(shù)據(jù)的精確和儀器的正常運(yùn)用。
